?凈化工程的主要任務是控制產品（如硅芯片等）所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，以確保產品在一個良好的環(huán)境空間中生產、制造?。具體來說，凈化工程包括空氣凈化工程和潔凈工程兩個方面：?12
?空氣凈化工程?：在特定空間范圍內，通過排除空氣中的微粒子、有害氣體、細菌等污染物，并將室內溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與分布、噪音振動及照明等控制在某一需求范圍內，以確保生產環(huán)境的潔凈和安全。
?潔凈工程?：主要涉及潔凈室的設計與建設，通過控制空氣中的微塵粒子數(shù)量，確保生產環(huán)境的無塵凈化。潔凈室的無塵標準根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定，例如在芯片生產中，微塵數(shù)量需嚴格控制在每立方米1000個以內。
此外，凈化工程在大規(guī)模集成電路生產中有重要應用。例如，在光刻曝光工藝中，為了防止熱膨脹系數(shù)差異導致的誤差，生產環(huán)境的溫度和濕度需嚴格控制。溫度應保持在±0.1度以內，濕度一般保持在35%至45%之間，以防止灰塵吸附和靜電問題。
